Project detail

Řídicí systém pro leptání katod elektronového litografu

Duration: 8.4.2004 — 31.12.2005

Funding resources

Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR - Fond rozvoje vysokých škol (FRVŠ)

Mark

IS/2833

Default language

Czech

People responsible

Kadlec Jaroslav, doc. Ing., Ph.D. - principal person responsible

Units

Department of Microelectronics
- responsible department (8.4.2004 - not assigned)
Department of Microelectronics
- beneficiary (8.4.2004 - not assigned)

Results

Kadlec, J., Kolařík, V. Precise process monitoring system for anisotropic etching. In Socrates Workshop Intensive Training Programme in Electronic Systeme Design Proceedings. Greece: Technological Institute of Chania, 2005. 3 p. ISBN: 80-214-3042-7.
Detail

KADLEC, J. Precise evaluation system for monolithic tungsten wire manufacture. In Electronic Devices and Systems IMAPS CS International Conference 2005. Brno, Czech Republic: Ing. Zdeněk Novotný CSc., Brno, 2005. 3 p. ISBN: 80-214-2990-9.
Detail

KADLEC, J. Řídicí systém pro leprání katod elektronového litografu. Závěrečná zpráva o řešení grantového projektu č. 2833. 2833. Brno: Fond rozvoje vysokých škol, 2005. 16 s.
Detail

Responsibility: Kadlec Jaroslav, doc. Ing., Ph.D.