Publication detail

Mikrosenzory a mikroelektromechanické systémy

HUBÁLEK, J. DRBOHLAVOVÁ, J. PRÁŠEK, J. BUŠINOVÁ, P. BENDOVÁ, M.

Original Title

Mikrosenzory a mikroelektromechanické systémy

English Title

Microsensors and microelectromechanical systems

Type

course reader

Language

Czech

Original Abstract

Skripta seznámí čtenáře se základními užívanými principy snímání veličin, technologiemi přípravy a způsoby konstrukce citlivých částí senzorů, metodami měření a rozdíly mezi jednotlivými druhy senzorů z pohledu převodu veličin. Text obsahuje ucelený přehled na senzory a jejich miniaturizace, ale neklade si za cíl podat vyčerpávající informace o dané problematice. Při pochopení čtené problematiky dostane čtenář přehled, který mu usnadní lépe se orientovat v dané problematice jak z pohledu principu a jejich možného použití, tak z pohledu technologických možností a vlivu miniaturizace na vlastnosti senzoru.

English abstract

The textbook includes the basic principles of sensing, technologies of preparation and construction of various sensors as well as the methods of measuring and the differences between the particular sensors from the values transducing point of view.

Keywords

senzor, mikroelektromechnický systém, převodník, mikroelektronické technologie

Key words in English

sensor, MEMS, transducer, microelectronic technologies

Authors

HUBÁLEK, J.; DRBOHLAVOVÁ, J.; PRÁŠEK, J.; BUŠINOVÁ, P.; BENDOVÁ, M.

Released

1. 5. 2012

Location

Brno

Pages count

139

BibTex

@misc{BUT96442,
  author="Jaromír {Hubálek} and Jana {Drbohlavová} and Jan {Prášek} and Petra {Majzlíková} and Mária {Bendová}",
  title="Mikrosenzory a mikroelektromechanické systémy",
  year="2012",
  pages="139",
  address="Brno",
  note="course reader"
}