Publication detail

Technologie výroby Schottkyho emisních katod zdokonalenou metodou elektrolytického leptání

KNÁPEK, A. PARAČKA, P. CHVÁTAL, M.

Original Title

Technologie výroby Schottkyho emisních katod zdokonalenou metodou elektrolytického leptání

English Title

The improved technology for the Schottky cathodes fabrication

Type

journal article - other

Language

Czech

Original Abstract

Příspěvek se zabývá metodou automatizované výroby Schottkyho katod pro potřeby elektronové mikroskopie. Mezi jednotlivými elektronovými zdroji začínají v poslední době převládat právě katody založené na principu Schottkyho emise. Především se jedná o SEM (rastrovací elektronovou mikroskopii), TEM (transmisní elektronovou mikroskopii), Augerovy systémy a o systémy pro diagnostiku v polovodičovém průmyslu. Nároky na parametry přístrojů stále narůstají, z čehož přirozeně vyplývá i potřeba kvalitního elektronového zdroje o malé velikosti, nízké energii rozptýlených elektronů, vysoké svítivosti, s nízký šumem, dlouhodobě teplotně stabilního a především s nízkými provozními náklady. Dosud byly za účelem zlepšení spolehlivosti přípravy implementovány mnohé technické modifikace související s výrobou a úpravou hrotů katod. Široce používané elektrochemické leptání metodou "drop-off" bylo dále zdokonaleno, aby umožnilo reprodukovatelnou výrobu hrotů o poloměru v řádech desítek nm.

English abstract

The paper introduces a method for fabrication of microscopic cathode based on Schottky field emission. Schottky emission is the predominant electron source technology in actual focused electron beam equipment, including scanning electron microscopy (SEM), (TEM) transmission electron microscopy, Auger systems, and semiconductor inspection tools. Achieving proper results requires an electron source with the following ideal properties: small source size, low electron emission energy spread, high brightness (beam current per solid angle), low noise and long-term stability, simple and low-cost operation. Recently new technical modifications have been made in order to improve current fabrication methods. Widely used "drop-off" method was further improved in order to allow reproducible tip fabrication with ultra sharp tips which radius reaches tens of nanometers.

Keywords

výroba Schottkyho emisních katod, elektrolytické leptání

Key words in English

Schottky cathode fabrication, electrolytic etching

Authors

KNÁPEK, A.; PARAČKA, P.; CHVÁTAL, M.

RIV year

2010

Released

1. 6. 2010

Publisher

Fyzikální ústav Akademie věd České republiky

Location

Olomouc

ISBN

0447-6441

Periodical

Jemná mechanika a optika

Year of study

55

Number

5

State

Czech Republic

Pages from

139

Pages to

141

Pages count

3

BibTex

@article{BUT47538,
  author="Alexandr {Knápek} and Petr {Paračka} and Miloš {Chvátal}",
  title="Technologie výroby Schottkyho emisních katod zdokonalenou metodou elektrolytického leptání",
  journal="Jemná mechanika a optika",
  year="2010",
  volume="55",
  number="5",
  pages="139--141",
  issn="0447-6441"
}