Product detail

Metody kvantitativní analýzy dopantů a vysokonapěťová diagnostika čipů

BÁBOR, P. POTOČEK, M. KOLÍBAL, M. ŠIK, O.

Product type

ostatní

Abstract

Metody měření polovodičových materiálů vyvinuté především na bázi hmotnostní spektroskopie sekundárních iontů a vysokonapěťová diagnostika čipů. Tyto metody budou komerčně využívány při následné výrobě v ON SEMICONDUCTOR formou smluvního výzkumu – nabídky expertních služeb, viz článek 5 odst. 5 Smlouvy o využití výsledků. Předpokládá se komerční využití i jinými společnostmi polovodičového průmyslu. Vlastníkem výsledku je VUT.

Keywords

Semiconductor, analysis, SIMS, hmotnostní spektrometrie sekundárních iontů

Create date

31. 12. 2020

Location

Purkyňova 123, Brno 61200, budova C, laboratore cistych prostor

Possibilities of use

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Licence fee

Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek

www

http://nano.ceitec.cz/