Detail publikace

Diagnostics and optimization of ion source parameters

VOBORNÝ, S., ŠIKOLA, T., PRŮŠA, S., ZLÁMAL, J., BÁBOR, P.

Originální název

Diagnostics and optimization of ion source parameters

Typ

článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus

Jazyk

angličtina

Originální abstrakt

This contribution deals with diagnostics and consequent optimization of plasmatic ion source. Ion-beam current density and ion current loss measurements are determined with the attempt of improving ion-beam transportation characteristics.

Klíčová slova v angličtině

ion source, optimization, thin film deposition

Autoři

VOBORNÝ, S., ŠIKOLA, T., PRŮŠA, S., ZLÁMAL, J., BÁBOR, P.

Rok RIV

2002

Vydáno

15. 11. 2001

Nakladatel

FEI VUT v Brně

Místo

Brno

ISBN

80-214-1992-X

Kniha

Sborník příspěvků konference Nové trendy ve fyzice

Strany od

304

Strany do

309

Strany počet

6

BibTex

@{BUT69632
}