Detail publikace

Instrument for thin film diagnostics by UV spectroscopic reflectometry

URBÁNEK, M. SPOUSTA, J. NAVRÁTIL, K. SZOTKOWSKI, R. CHMELÍK, R. BUČEK, M. ŠIKOLA, T.

Originální název

Instrument for thin film diagnostics by UV spectroscopic reflectometry

Typ

článek v časopise - ostatní, Jost

Jazyk

angličtina

Originální abstrakt

Paper presents an instrument for thin film diagnostics by UV spectroscopic reflectometry

Klíčová slova v angličtině

reflectometry, thin films

Autoři

URBÁNEK, M.; SPOUSTA, J.; NAVRÁTIL, K.; SZOTKOWSKI, R.; CHMELÍK, R.; BUČEK, M.; ŠIKOLA, T.

Rok RIV

2004

Vydáno

1. 1. 2004

ISSN

0142-2421

Periodikum

Surface and Interface Analysis

Ročník

36

Číslo

8

Stát

Spojené království Velké Británie a Severního Irska

Strany od

1102

Strany do

1105

Strany počet

4

BibTex

@article{BUT42362,
  author="Michal {Urbánek} and Jiří {Spousta} and Karel {Navrátil} and Robert {Szotkowski} and Radim {Chmelík} and Miroslav {Buček} and Tomáš {Šikola}",
  title="Instrument for thin film diagnostics by UV spectroscopic reflectometry",
  journal="Surface and Interface Analysis",
  year="2004",
  volume="36",
  number="8",
  pages="4",
  issn="0142-2421"
}