Detail publikace

Napěťový kontrast v ESEM

Linhart J., Neděla V., Autrata R.

Originální název

Napěťový kontrast v ESEM

Anglický název

Voltage contrast in ESEM

Typ

článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus

Jazyk

čeština

Originální abstrakt

Jednou z diagnostických metod používaných v polovodičovém průmyslu je diagnostika pomocí tzv. napěťového kontrastu v rastrovací elektronové mikroskopii.

Anglický abstrakt

Voltage contrast is one of the diagnotic method used in semiconductor industry.

Klíčová slova

napěťový kontrast, environmentální rastrovací elektronová mikroskopie

Klíčová slova v angličtině

voltage contrast, environmental scanning electron microscopy

Autoři

Linhart J., Neděla V., Autrata R.

Rok RIV

2006

Vydáno

16. 2. 2006

Nakladatel

Československá mikroskopická společnost

Místo

Nové Město na Moravě

Strany od

36

Strany do

36

Strany počet

1

BibTex

@inproceedings{BUT18515,
  author="Jan {Linhart} and Vilém {Neděla}",
  title="Napěťový kontrast v ESEM",
  booktitle="Mikroskopie 2006",
  year="2006",
  pages="1",
  publisher="Československá mikroskopická společnost",
  address="Nové Město na Moravě"
}