Detail publikačního výsledku

Pokročilé interferometrické systémy pro měření polohy v nanometrologii

LAZAR, J.; HOLÁ, M.; HRABINA, J.; OULEHLA, J.; ČÍP, O.

Originální název

Pokročilé interferometrické systémy pro měření polohy v nanometrologii

Druh

Článek recenzovaný mimo WoS a Scopus

Originální abstrakt

Preneztujeme zde výsledky společného projektu aplikovaného výzkumu, v němž spolupracují Ústav přístrojové techniky, Akademie věd České republik, v. v. i. a firma Meopta - optika, s.r.o. na společném vývoji vysoce přesných interferometrických systémů prodimenzioální metrologii a nanometrologii. Výzkum využívá přechozích výsledků na poli laserových normálů otpických frekvencí a metodologie interferometrických měření v metrologii délky, detekce a zpracování interferometrických signálů na ÚPT spolu s technologií zpracování otpického skla a výrobou vysoce přesných optických komponentů ve firmě Meopta - optika. Hlavním cílem projetku je návhr komplexního interferometrického měřicího systému ve formě prototypu, který bude sloužit jako váchdisko pro budoucí výrobu. Zvolená koncepce systému představuje modulární rodinu komponentů konfigurovatelnou pro různá uspořádání, zvláště pro víceosá měření v nanotechnologíích a měřeních topografie povrchů. V rámci tohoto projektu jsme vyvinuli kompaktní

Klíčová slova

interferometrické systémy; měření délek; nanometrologie

Autoři

LAZAR, J.; HOLÁ, M.; HRABINA, J.; OULEHLA, J.; ČÍP, O.

Vydáno

15.09.2015

ISSN

0447-6441

Periodikum

Jemná mechanika a optika

Svazek

60

Číslo

1

Stát

Česká republika

Strany od

14

Strany do

17

Strany počet

4

BibTex

@article{BUT138311,
  author="Josef {Lazar} and Miroslava {Holá} and Jan {Hrabina} and Jindřich {Oulehla} and Ondřej {Číp}",
  title="Pokročilé interferometrické systémy pro měření polohy v nanometrologii",
  journal="Jemná mechanika a optika",
  year="2015",
  volume="60",
  number="1",
  pages="14--17",
  issn="0447-6441"
}