Systém pro udržování konstantního odstupu od povrchu substrátu

System for maintaining a constant distance from the surface of the substrate

Funkční vzorek

Jedná se o pneumatický systém pro kompenzaci nerovností povrchu substrátů. Princip je založen na sledování změn tlaku vzduchu.

It is a pneumatic system to compensate for inequalities of the surface substrates. The principle is based on the monitoring of changes in air pressure.

Konstantní výška, tlak, měření, udržování

Constant height, pressure, measurement, maintenance

laboratoř 0.63 Vysoké učení technické v Brně Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií Ústav mikroelektroniky Technická 3058/10 616 00 Brno Česká republika

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence