bakalářská práce

Studium asymetrických vyhlazených mřížek vytvořených elektronovou litografií

Text práce 6.43 MB

Autor práce: Ing. Ondřej Brunn, Ph.D.

Ak. rok: 2016/2017

Vedoucí: Ing. Stanislav Krátký, Ph.D.

Oponent: Mgr. Michal Urbánek, Ph.D.

Abstrakt:

Tato práce se zabývá tvorbou vyhlazených asymetrických mřížek s užitím elektronové litografie. Popisuje kompletní postup od přípravy struktur v softwaru, následnou expozici elektronovým litografem až po vyvolání a analyzování kvalitativních i kvantitativních charakteristik vytvořených mřížek. Tyto výsledky jsou následně porovnány s analytickým výpočtem a numerickou simulací.

Klíčová slova:

ELEKTRONOVÁ LITOGRAFIE, DIFRAKČNÍ OPTICKÉ PRVKY, ASYMETRICKÁ MŘÍŽKA, KOREKCE PROXIMITY EFEKTU.

Termín obhajoby

19.06.2017

Výsledek obhajoby

obhájeno (práce byla úspěšně obhájena)

znamkaAznamka

Klasifikace

A

Jazyk práce

čeština

Fakulta

Fakulta strojního inženýrství

Ústav

Ústav fyzikálního inženýrství

Studijní program

Aplikované vědy v inženýrství (B3A-P)

Studijní obor

Fyzikální inženýrství a nanotechnologie (B-FIN)

Složení komise

prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)

Posudek vedoucího
Ing. Stanislav Krátký, Ph.D.

Student Ondřej Brunn se ve své práci zabýval přípravou asymetrických vyhlazených mřížek pomocí elektronové litografie. Seznámil se podrobně s teorií týkající se difrakčních asymetrických mřížek a technologickým procesem přípravy periodických struktur. Využíval zdroje nad rámec doporučené literatury a sám navrhoval zlepšení celého procesu. Naučil se pracovat se softwarem na přípravu dat pro elektronový litograf a se softwarem na simulaci periodických struktur. Osvojil si práci s několika komplexními zařízeními, jakými jsou elektronový litograf a mikroskop atomárních sil. Celá práce je jasně a přehledně členěna a neobsahuje gramatické chyby, pouze několik překlepů. Všechna měření jsou pečlivě zpracována včetně nejistot měření. Student dokázal formulovat závěry z teoretických znalostí a prakticky nabytých zkušeností. Některé formulace jsou sice mírně těžkopádné a mohly by být napsány jednodušeji, ale daná myšlenka je vždy pochopitelná. Zcela splnil zadání bakalářské práce a její výsledky budou přímo aplikovatelné při tvorbě komplexních mikro-optických systémů. Práci hodnotím jako výbornou a doporučuji ji k obhajobě.
Kritérium hodnocení Známka
Splnění požadavků a cílů zadání A
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod A
Vlastní přínos a originalita A
Schopnost interpretovat dosažené vysledky a vyvozovat z nich závěry B
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii A
Logické uspořádání práce a formální náležitosti A
Grafická, stylistická úprava a pravopis A
Práce s literaturou včetně citací A
Samostatnost studenta při zpracování tématu A

Známka navržená vedoucím: A

Posudek oponenta
Mgr. Michal Urbánek, Ph.D.

Student Ondřej Brunn se ve své bakalářské práci zabývá přípravou asymetrických mřížek pomocí elektronové litografie. Jak téma elektronové litografie tak i asymetrických mřížek je velmi perspektivní a vykazuje potenciál dalšího výzkumu. V teoretické části práce student shrnuje metodu elektronové litografie a problém asymetrických mřížek. V praktické části se pak autor zaměřil na návrh a optimalizaci dat pro přípravu asymetrických mřížek, následné vyhodnocení jejich difrakční účinnosti a nakonec i kvalitativní zhodnocení profilů připravených mřížek metodami elektronové rastrovací mikroskopie a mikroskopie atomárních sil.
Zpracovaná bakalářská práce je poskládána logicky a jednotlivé kapitoly na sebe správně navazují. Po formální stránce je práce na vysoké úrovni a obsahuje jen minimální typografické nedostatky. Autor prokázal schopnost samostatně navrhnout a provést řadu experimentů. Práce splnila stanovené cíle a dosažené výsledky mají aplikační a publikační potenciál, proto práci doporučuji k obhajobě.
Kritérium hodnocení Známka
Splnění požadavků a cílů zadání A
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod A
Vlastní přínos a originalita A
Schopnost interpretovat dosaž. vysledky a vyvozovat z nich závěry A
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii A
Logické uspořádání práce a formální náležitosti A
Grafická, stylistická úprava a pravopis A
Práce s literaturou včetně citací A
Otázky k obhajobě:
  1. 1) Zdůvodněte různý počet úrovní při expozici reflexních a transmisních mřížek.

Známka navržená oponentem: A

Odpovědnost: Mgr. et Mgr. Hana Odstrčilová