bakalářská práce

Návrh efuzní cely pro depozici ultratenkých vrstev Sn a Zn

Text práce 3.06 MB Příloha 5.32 MB

Autor práce: Ing. Stanislav Horák

Ak. rok: 2015/2016

Vedoucí: doc. Ing. Jindřich Mach, Ph.D.

Oponent: prof. Ing. Miroslav Kolíbal, Ph.D.

Abstrakt:

Tato bakalářská práce se zabývá návrhem a sestavením efuzních cel pro depozici ultra-
tenkých vrstev zinku a cínu. V práci jsou úvodem vysvětleny principy funkce efuzních cel,
jako je metoda molekulární svazkové epitaxe (MBE) a tvorba efuzního toku. Dále je uve-
dené shrnutí obecné konstrukce atomarních zdrojů a rešeršní studie o růstu ultratenkých
vrstev a nanostruktur zinku, cínu a jejich sloučenin. V praktické části byly vytvořeny dva
návrhy efuzních cel s radiačním ohřevem z karbidu křemíku a ohřevem pomocí dopadu
elektronů. Přílohou práce je kompletní výkresová dokumentace navržených efuzních cel

Klíčová slova:

Atomární zdroj, efuzní cela, MBE, ultratenká vrstva, ZnO, nanotrubičky, SiC, CVD.

Termín obhajoby

23.06.2016

Výsledek obhajoby

obhájeno (práce byla úspěšně obhájena)

znamkaAznamka

Klasifikace

A

Jazyk práce

čeština

Fakulta

Ústav

Studijní program

Aplikované vědy v inženýrství (B3A-P)

Studijní obor

Fyzikální inženýrství a nanotechnologie (B-FIN)

Složení komise

prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)
doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen)

Student se v rámci bakalářské práce aktivně podílel na návrhu zdroje atomů Zn a Sn sloužících k studiu růstu oxidových nanostruktur. V rámci bakalářské práce byly provedeny dva návrhy specializovaných efuzních cel, kdy byl při konstrukci užit nový typ SiC vlákna. Během práce byly vyhotoveny 3D modely a kompletní 2D výkresové dokumentace, které sloužily k výrobě zdrojů atomů. Práce studenta byla intenzivní a snaživá. Proto lze konstatovat, že student splnil všechny úkoly zadání. Projevoval nadměrný zájem o danou problematiku.
Kritérium hodnocení Známka
Splnění požadavků a cílů zadání A
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod A
Vlastní přínos a originalita A
Schopnost interpretovat dosažené vysledky a vyvozovat z nich závěry B
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii A
Logické uspořádání práce a formální náležitosti B
Grafická, stylistická úprava a pravopis C
Práce s literaturou včetně citací B
Samostatnost studenta při zpracování tématu A

Známka navržená vedoucím: A

Bakalářská práce Stanislava Horáka se zabývá vývojem efuzních cel pro depozici zinku a cínu. V podstatě se dá rozdělit na dvě části – rešeršní studii možností depozice uvedených materiálů a popis zkonstruovaných napařovacích cel. Teoretická část je značně obsáhlá a prospěla by jí jistá střízlivost. Student se odkazuje na 68 prací, jejich popis je však často vágní a zasloužil by si být detailnější. Méně je někdy více (s tím souvisí i větší počet chyb v citacích, např. v [9] kde se studentovi podařilo nenapsat správně ani jednoho ze tří autorů). Po formální stránce bych práci vytkl neuvěřitelné množství překlepů, které je v době aktivních korekturních nástrojů nepochopitelné. Občas se v textu vyskytne podivný výraz („vazebná molekulová energie molekuly“) nebo špatný odkaz na obrázek (str. 33, 35). Z praktické části je zřejmé, že student se podrobně zabýval variantami konstrukce napařovacích cel a výsledné návrhy by měly splňovat na ně kladené požadavky. Přes uvedené výhrady práci doporučuji k obhajobě.
Kritérium hodnocení Známka
Splnění požadavků a cílů zadání B
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod A
Vlastní přínos a originalita B
Schopnost interpretovat dosaž. vysledky a vyvozovat z nich závěry B
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii A
Logické uspořádání práce a formální náležitosti C
Grafická, stylistická úprava a pravopis E
Práce s literaturou včetně citací C
Otázky k obhajobě:
  1. Popis techniky RHEED na str. 4 je, mírně řečeno, vágní a poněkud nejasný. Můžete prosím její princip lépe vysvětlit?
  2. V textu se míchá dohromady vyjádření toku atomů ve svazku a tlak. Jaký je mezi těmito dvěma veličinami převodní vztah?

Známka navržená oponentem: B

Odpovědnost: Mgr. et Mgr. Hana Odstrčilová