bakalářská práce

Depozice cínem dopovaného oxidu inditého a výzkum jeho optických vlastností

Text práce 1.31 MB

Autor práce: Ing. Gabriela Olivíková

Ak. rok: 2014/2015

Vedoucí: Ing. Petr Viewegh, Ph.D.

Oponent: Ing. Michal Kvapil, Ph.D.

Abstrakt:

Tato práce se zabývá přípravou a depozicí tenkých vrstev cínem dopovaného oxidu inditého (ITO) metodou iontového naprašování (IBS) s možností asistované depozice pomocí sekundárního iontového svazku (IBAD). V teoretické části je zpracována rešeršní studie zabývající se optickými a elektrickými vlastnostmi ITO, metodami používanými k jeho přípravě a aplikacemi.V experimentální části jsou zkoumány optické a transportní vlastnosti vrstev pomocí spektroskopických metod. Je ukázáno, že použití asistujícího svazku kyslíkových iontů o energii 80 eV vede ke zvýšení propustnosti deponovaných vrstev ve viditelné oblasti spektra a že IBAD je vhodnou metodou k modifikaci optických vlastností ITO.

Klíčová slova:

cínem dopovaný oxid inditý, iontové naprašování, iontové naprašování s asistujícím iontovým svazkem, spektroskopická elipsometrie

Termín obhajoby

24.06.2015

Výsledek obhajoby

obhájeno (práce byla úspěšně obhájena)

znamkaAznamka

Klasifikace

A

Jazyk práce

čeština

Fakulta

Ústav

Studijní program

Aplikované vědy v inženýrství (B3A-P)

Studijní obor

Fyzikální inženýrství a nanotechnologie (B-FIN)

Složení komise

prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)

Posudek vedoucího
Ing. Petr Viewegh, Ph.D.

Studentka prokázala schopnost samostatné a systematické práce na zadaných úkolech. Její schopnost interpretovat dosažené výsledky a práce s vědeckou literaturou byly na tak vysoké úrovni, že by tato práce mohla konkurovat i většině diplomovým pracím. Z těchto důvodu doporučuji práci k obhajobě s výslednou známkou A.
Kritérium hodnocení Známka
Splnění požadavků a cílů zadání A
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod A
Vlastní přínos a originalita A
Schopnost interpretovat dosažené vysledky a vyvozovat z nich závěry A
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii A
Logické uspořádání práce a formální náležitosti A
Grafická, stylistická úprava a pravopis A
Práce s literaturou včetně citací A
Samostatnost studenta při zpracování tématu A

Známka navržená vedoucím: A

Posudek oponenta
Ing. Michal Kvapil, Ph.D.

Bakalářská práce Gabriely Olivíkové se zaměřuje na depozici cínem dopovaného oxidu inditého (označovaného jako ITO). Patrně se jedná se o první přípravu a komplexní studium tohoto materiálu na ÚFI. Formálně je práce rozdělena do 3 stěžejních částí. Nejprve jsou popsány elektrické a optické vlastnosti a možné metody přípravy ITO. Je také diskutován vliv volby výrobní metody na studované vlastnosti materiálu. Následuje část, ve které jsou popsány všechny experimentální metody použité k přípravě a studiu materiálu, a v poslední části jsou uvedeny experimentálně zjištěné transportní, optické, chemické a mechanické vlastnosti vyrobených vzorků ITO.

Protože ITO se jako materiál těší velkému zájmu akademické i komerční sféry, jsou jeho vlastnosti dobře známy; toho autorka plně využívá a každý popsaný fakt opírá o odbornou literaturu. Rovněž všechny naměřené výsledky jsou porovnány s dostupnou literaturou. Práce tak obsahuje 95 referencí.

V práci autorka prokázala velkou schopnost interpretace naměřených výsledků a vyvozování závěrů. Po stylistické a formální stránce je práce zpracována velmi kvalitně, nevyskytují se v ní překlepy nebo pravopisné chyby.

Mé výtky k prezentované bakalářské práci jsou jen minimální:
1.)    Na straně 19, v odstavci 3.1.1 se depoziční aparatura známá jako Kaufman označuje za „ultravysokovakuovou“. Svým pracovním tlakem však aparatura spadá do kategorie „vysokovakuových“.
2.)    V kapitole 2 je pro označení koncentrace nosičů náboje použito 3 různých písmen - „n“, „N“ a „n s indexem e". Písmen „N“ a „n“ je v téže kapitole také použito k označení komplexního indexu lomu a jeho reálné části.
3.)    V seznamu použité literatury v referenci 19 chybí příjmení 2. autora.
4.)    Použitý styl referencí elektronických zdrojů (jen datum a odkaz) se mi zdá až přehnaně minimalistický.

Na základě všeho výše uvedeného hodnotím tuto práci klasifikačním stupněm „výborně / A“.
Kritérium hodnocení Známka
Splnění požadavků a cílů zadání A
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod A
Vlastní přínos a originalita A
Schopnost interpretovat dosaž. vysledky a vyvozovat z nich závěry A
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii A
Logické uspořádání práce a formální náležitosti A
Grafická, stylistická úprava a pravopis A
Práce s literaturou včetně citací A
Otázky k obhajobě:
  1. Z práce je zřejmé, že byly připraveny a studovány vzorky ITO různé tloušťky. A tato tloušťka se "volila" dobou po kterou probíhala depozice. Kolik vzorků bylo připraveno při jednotlivých depozicích? A jak je to s reproducibilitou naměřených výsledků?
  2. Na straně 32 je zmíněna krystalografická orientace zrn ITO (222). V literatuře je kromě orientace (222) často také uváděna orientace (400). Proč zde není dodrženo pravidlo úpravy Millerových indexů na celá nesoudělná čísla, tedy (111) a (100)?
  3. Na straně 4 zmiňujete úlohu kyslíkových vakancí na vodivost ITO. Mohla byste podrobněji (kvalitativně) popsat jakým způsobem kyslíkové vakance v ITO přispívají k elektronové a iontové vodivosti ITO?

Známka navržená oponentem: A

Odpovědnost: Mgr. et Mgr. Hana Odstrčilová