Přístupnostní navigace
E-přihláška
Vyhledávání Vyhledat Zavřít
bakalářská práce
Autor práce: Ing. Michal Kern
Ak. rok: 2012/2013
Vedoucí: doc. Ing. Jindřich Mach, Ph.D.
Oponent: Ing. Pavel Wertheimer, Ph.D.
Táto bakalárska práca sa zaoberá sprevádzkovaním a optimalizáciou vysokofrekvenčného atomárneho disociačného zdroja dusíka pre depozíciu GaN. Teoretická časť sa zaoberá atomárnymi zdrojmi, rastom ultratenkých vrstiev a problematikou vysokofrekvenčných obvodov, s dôrazom na ich návrh pomocou Smithových diagramov. Taktiež pojednáva o metódach prípravy GaN ultratenkých vrstiev a nanostĺpcov. V experimentálnej časti je popísaný návrh a samotná realizácia rôznych kongurácii vyrovnávacej jednotky impedancie pre atomárny zdroj dusíku. Pomocou tejto vyrovnávacej jednotky bolo dosiahnuté zapálenie dusíkovej plazmy a bolo analyzované jej spektrum. Následne je popísaný návrh a realizácia ovládania vyrovnávacej jednotky pomocou krokových motorov.
GaN, nanosloupy, Smithuv diagram, impedance, atomární zdroj, dusík, atomární dusík, MBE, plazma
Termín obhajoby
19.06.2013
Výsledek obhajoby
obhájeno (práce byla úspěšně obhájena)
Klasifikace
B
Jazyk práce
čeština
Fakulta
Fakulta strojního inženýrství
Ústav
Ústav fyzikálního inženýrství
Studijní program
Aplikované vědy v inženýrství (B3A-P)
Studijní obor
Fyzikální inženýrství a nanotechnologie (B-FIN)
Složení komise
prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)
Posudek vedoucíhodoc. Ing. Jindřich Mach, Ph.D.
Známka navržená vedoucím: B
Posudek oponentaIng. Pavel Wertheimer, Ph.D.
Známka navržená oponentem: A
Odpovědnost: Mgr. et Mgr. Hana Odstrčilová