Přístupnostní navigace
E-přihláška
Vyhledávání Vyhledat Zavřít
diplomová práce
Autor práce: Ing. Michal Pavera, Ph.D.
Ak. rok: 2010/2011
Vedoucí: Ing. Michal Urbánek, Ph.D.
Oponent: Ing. Jaroslav Sobota, CSc.
Předkládaná diplomová práce se zabývá automatizací depozičního procesu metodou iontového naprašování a iontového naprašování za použití asistujícího iontového svazku. Práce obsahuje výkresovou dokumentaci mechanických úprav depoziční komory navržených za účelem ovládání clony substrátu a otáčení terče pomocí krokových motorů. Jsou prezentovány způsoby ovládání krokových motorů a řešeny problémy s jejich přesným nastavením. Dalším úkolem je návrh systému pro počítačové řízení depozičního procesu. Jsou diskutovány způsoby ovládání iontových zdrojů, měrky tlaku, průtokoměru, tloušťkoměru a jejich propojení s počítačem prostřednictvím sběrnice RS-232 a analogově digitálních převodníků. Dále je navržen ovládací program v programovacím nástroji LabVIEW, s jehož pomocí je možná automatická depozice multivrstev. Na závěr je provedeno testování automatické depozice a výsledky jsou komentovány.
Iontové naprašování, IBAD, IBS, depozice tenkých vrstev, LabVIEW.
Termín obhajoby
20.06.2011
Výsledek obhajoby
obhájeno (práce byla úspěšně obhájena)
Klasifikace
B
Jazyk práce
čeština
Fakulta
Fakulta strojního inženýrství
Ústav
Ústav fyzikálního inženýrství
Studijní program
Aplikované vědy v inženýrství (M2A-P)
Studijní obor
Fyzikální inženýrství a nanotechnologie (M-FIN)
Složení komise
prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) doc. RNDr. Josef Kuběna, CSc. (člen) prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)
Posudek vedoucíhoIng. Michal Urbánek, Ph.D.
Známka navržená vedoucím: B
Posudek oponentaIng. Jaroslav Sobota, CSc.
Známka navržená oponentem: B
Odpovědnost: Mgr. et Mgr. Hana Odstrčilová