Přístupnostní navigace
E-přihláška
Vyhledávání Vyhledat Zavřít
diplomová práce
Autor práce: Ing. Vojtěch Mahel
Ak. rok: 2022/2023
Vedoucí: Mgr. Jiří Liška, Ph.D.
Oponent: doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D.
Diplomová práce se zabývá využitím variabilní MEMS clony v elektronovém mikroskopu, jejím návrhem a výrobou. Aperturní clona je důležitá pro určení aperturního úhlu, který má dopad na rozlišení mikroskopu a rychlost analytické práce. Variabilní aperturní clona by měla umožnit nastavitelnost téměř libovolného aperturního úhlu a proudu svazku na vzorku ve zvolených mezích. Práce obsahuje úvod do mikroelektromechanických systémů, základů elektronové mikroskopie a přehled technik mikrovýroby zahrnující litografii a leptání. Byl proveden návrh a simulace variabilní MEMS clony pro elektronový mikroskop. Zařízení s pohyblivou strukturou aktuované elektrickým napětím bylo vyrobeno pomocí litografických procesů a fokusovaného svazku iontů. Testováním byly potvrzeny vlastnosti a pohyblivost struktury shodující se s výpočty a simulací.
Variabilní clona, simulace, MEMS, elektronový mikroskop, litografie, FIB, DRIE
Termín obhajoby
21.06.2023
Práce bude zveřejněna
20.06.2026
Výsledek obhajoby
obhájeno (práce byla úspěšně obhájena)
Klasifikace
A
Průběh obhajoby
Po otázkách oponenta bylo dále diskutováno: Napětí pro pohyb aktuátorů. Vliv teploty na funkci aktuátoru. Student na otázky odpověděl.
Jazyk práce
čeština
Fakulta
Fakulta strojního inženýrství
Ústav
Ústav fyzikálního inženýrství
Studijní program
Přesná mechanika a optika (N-PMO-P)
Složení komise
prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (místopředseda) prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) prof. RNDr. Jiří Petráček, Dr. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) doc. Ing. Jindřich Mach, Ph.D. (člen) doc. Ing. Petr Bábor, Ph.D. (člen) doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen) prof. Ing. Miroslav Kolíbal, Ph.D. (člen) Ing. Petr Jákl, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)
Posudek vedoucíhoMgr. Jiří Liška, Ph.D.
Známka navržená vedoucím: A
Posudek oponentadoc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D.
Známka navržená oponentem: A
Důvod odložení zveřejnění
Zveřejnění této práce je odloženo v souladu s ustanovením § 47b zákona č. 111/1998 Sb. o vysokých školách a o změně a doplnění dalších zákonů (zákon o vysokých školách), ve znění pozdějších předpisů.
Odpovědnost: Mgr. et Mgr. Hana Odstrčilová