diplomová práce

Sestavení a testování zařízení pro výrobu ozonované vody a její aplikace na čištění křemíkových desek

Text práce 6.75 MB

Autor práce: Ing. Dalibor Ředina

Ak. rok: 2016/2017

Vedoucí: Ing. Stanislav Voborný, Ph.D.

Oponent: doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D.

Abstrakt:

Deionizovaná ozonovaná voda neboli tzv. DIO3 se zdá být vhodnou alternativou pro použití v polovodičovém průmyslu. Užití DIO3 při odstraňování fotorezistu z křemíkových desek je rychlejší, levnější a šetrnější k životnímu prostředí oproti klasické technologii založené na použití směsi kyseliny sírové a peroxidu vodíku neboli SPM.
Diplomová práce se zabývá prvně rešerší na téma ozon a  ozonované vody a jejich možné aplikace. V dalších částech jsou popsány dva prototypy generátorů DIO3, jež byly sestaveny ve společnosti CSVG a.s. Testování parametrů generátorů na koncentraci rozpuštěného ozonu je taktéž součástí této práce. Dále jsou v práci uvedeny i testy, které byly provedeny ve společnosti ON Semiconductor v Rožnově pod Radhoštěm. V testech je porovnávána účinnost čištění pomocí klasické technologie využívající SPM a pomocí DIO3.

Klíčová slova:

ozon, ozonovaná voda, DIO3, polovodičový průmysl, kontaktor, membránový kontaktor, destruktor, SPM, generátor DIO3, CSVG a.s., čištění Si desek, TXRF

Termín obhajoby

20.06.2017

Výsledek obhajoby

obhájeno (práce byla úspěšně obhájena)

znamkaAznamka

Klasifikace

A

Jazyk práce

čeština

Fakulta

Fakulta strojního inženýrství

Ústav

Ústav fyzikálního inženýrství

Studijní program

Aplikované vědy v inženýrství (M2A-P)

Studijní obor

Fyzikální inženýrství a nanotechnologie (M-FIN)

Složení komise

prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Eduard Schmidt, CSc. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)

Posudek vedoucího
Ing. Stanislav Voborný, Ph.D.

Hlavní částí diplomové práce bylo sestavení dvou prototypů zařízení pro výrobu ozonované vody. Práce probíhala vzdáleně ve firmě CSVG, a. s. v Olomouci, analýzy vzorků pak ve firmě ON Semiconductor a CEITECu. Student byl velmi svědomitý, prokázal velkou míru samostatnosti, pravidelně mě informoval na týdenních schůzkách o průběhu prací a dosažených výsledcích. Poctivě plnil všechny zadané úkoly. Překvapil mě také rozsah jeho znalostí o problematice, získaných ze samostatného studia množství literatury. Riziko práce spočívalo v tom, že pro sestavení druhého prototypu bylo nutno čekat na dodávku klíčových komponent ze zahraničí, a až poté bylo možné přístroj dokončit a testovat. Všechny úkoly zadání se nakonec stihly, na analýzu vzorků pro porovnání účinnosti čištění standardní metodou a pomocí sestaveného přístroje metodami LEIS a SIMS (opakování některých měření) však nebylo dostatek času. Práci hodnotím stupněm A.
Kritérium hodnocení Známka
Splnění požadavků a cílů zadání A
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod A
Vlastní přínos a originalita A
Schopnost interpretovat dosažené vysledky a vyvozovat z nich závěry A
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii A
Logické uspořádání práce a formální náležitosti B
Grafická, stylistická úprava a pravopis B
Práce s literaturou včetně citací A
Samostatnost studenta při zpracování tématu A

Známka navržená vedoucím: A

Posudek oponenta
doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D.

Student ve své práci plně zpracoval zadané téma týkající se návrhu a konstrukce zařízení pro přípravu
ozonované vody. Byly vyrobeny a otestovány dva prototypy ve firmě CSVG, což vedlo k přímému
aplikačnímu výstupu pro čištění křemíkových desek v procesech firmy ON Semiconductor. Student se
též seznámil s různými moderními metodami testování kontaminace povrchu polovodičových desek a
s fyzikálně-chemickými vlastnostmi ozonu. Diplomová práce je sepsána pečlivě a přehledně.
Kritérium hodnocení Známka
Splnění požadavků a cílů zadání A
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod A
Vlastní přínos a originalita A
Schopnost interpretovat dosaž. vysledky a vyvozovat z nich závěry A
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii A
Logické uspořádání práce a formální náležitosti A
Grafická, stylistická úprava a pravopis A
Práce s literaturou včetně citací A
Otázky k obhajobě:
  1. Zkuste vysvětlit, proč odstraňování rezistů ozonovanou vodou funguje dobře pro pozitivní i negativní fotorezisty.

Známka navržená oponentem: A

Odpovědnost: Mgr. et Mgr. Hana Odstrčilová