Holografická konfokální mikroskopie– zdokonalená metoda optického studia povrchů

Holographic Confocal Microscopy – Improved Method of Optical Study of Surfaces

journal article - other

Czech

Podobně, jako konvenční konfokální mikroskopie, také holografická konfokální mikroskopie umožňuje snímat mikroskopická zobrazení jemných optických řezů preparátem a tímto způsobem konstruovat trojrozměrné mikroskopické zobrazení objemových vzorků. Pro analýzu povrchů je však podstatná jedna odlišnost: holografická metoda dovoluje detekovat fázi pozorovaného zobrazení, která velmi citlivě závisí na výškových odchylkách pozorovaných bodů povrchu.Tak lze prostřednictvím jediného pozorování povrchu získat jak jeho konfokální mikroskopické zobrazení, tak i výškovou mapu povrchu, a tak zviditelnit výškové odchylky řádu jednotek nanometrů.

Holographic confocal microscope, similarly to the conventional confocal microscope, enables fine optical sectioning of a volume specimen and the consequent reconstruction of its three-dimensional image. However, one difference is fundamental for the surface analysis: the holographic method enables to detect the image phase component, which is very sensitive to height deviations of observed surface points. Thus, both the confocal microscopic image and the surface height map can be computed from one holographic confocal image, visualising nanometer scale height deviations in this way.

profilometry, holographic applications, microscopy, metrology, non-destructive testing

CHMELÍK, R., HARNA, Z.

2001

1. 3. 2001

1213-3825

NDT Welding Bulletin

11

3

Czech Republic

27

30

4