Publication detail

Optimalizace experimentálního scintilačního detektoru sekundárních elektronů pro SEM pracující s vyšším tlakem

ČUDEK, P.

Original Title

Optimalizace experimentálního scintilačního detektoru sekundárních elektronů pro SEM pracující s vyšším tlakem

English Title

Optimization of experimental scintillation secondary electron detector for variable pressure SEM

Type

conference paper

Language

Czech

Original Abstract

This article deals with an optimization of the experimental secondary electron detector for variable pressure scanning electron microscopes.

English abstract

This article deals with an optimization of the experimental secondary electron detector for variable pressure scanning electron microscopes.

Key words in English

Secondary electrons (SE), scintillation secondary electron detector, variable pressure scanning electron microscope (VP-SEM).

Authors

ČUDEK, P.

RIV year

2010

Released

3. 11. 2010

ISBN

978-80-7043-913-5

Book

Elektrotechnika a informatika 2010

Pages from

23

Pages to

24

Pages count

2

BibTex

@inproceedings{BUT35100,
  author="Pavel {Čudek}",
  title="Optimalizace experimentálního scintilačního detektoru sekundárních elektronů pro SEM pracující s vyšším tlakem",
  booktitle="Elektrotechnika a informatika 2010",
  year="2010",
  pages="23--24",
  isbn="978-80-7043-913-5"
}