Přístupnostní navigace
E-application
Search Search Close
Applied result detail
PEKÁREK, J.; PAVLÍK, M.; VLACH, R.; VRBA, R.; MAGÁT, M.; HÁZE, J.; MAREČEK, K.
Original Title
Zařízení pro anodické pájení
English Title
Anodic bonding device
Type
Utility model
Original Abstract
Zařízení je určené pro anodické pájení v laboratorních podmínkách. Slouží k výrobě součástek MEMS. Zařízení je schopné vyrobit tři vzorky součástek současně.
English abstract
Anodic bonding device serves as laboratory device for MEMS fabrication. The device is able to fabricate three MEMS devices simultaneously.
Keywords
anodické pájení, MEMS
Key words in English
anodic bonding, MEMS
Patent number
22520
Date of application
02.06.2011
Date of registration
25.07.2011
Owner
Vysoké učení technické v Brně, Brno, CZ , BD SENSORS, s. r. o., Buchlovice, CZ
Licence fee
In order to use the result by another entity, it is always necessary to acquire a license
URL
http://spisy.upv.cz/UtilityModels/FullDocuments/FDUM0022/uv022520.pdf