Result with impact on practice detail

Příprava vzorků pro testování rozlišení

BÁBOR, P.; POTOČEK, M.; ŠIKOLA, T.

Original Title

Příprava vzorků pro testování rozlišení

English Title

Preparation of samples for testing of the resolution of the

Type

Summary research report

Original Abstract

Výzkumná zpráva je zaměřena na přípravu speciálních vzorků pro testování vysokého laterálního rozlišení skenovacího elektronového mikroskopu, dále pro testování energiově selektivního zobrazování pomocí odražených elektronů a vzorku pro demonstraci hmotnostního rozlišení přístroje SIMS ve verzi H-TOF.

English abstract

Research report is focused on the preparation of special samples for testing of the high lateral resolution of the scanning electron microscope, x-ray energy dispersive spectrometer testing for selective viewing using the electrons and the sample for a demonstration of mass resolution of the device in the SIMS version of H-TOF.

Keywords

SEM, SIMS, H-TOF, rozlišení, elektron, iont

Key words in English

HERE, SIMS, H-TOF, resolution, electron, ion

Authors

BÁBOR, P.; POTOČEK, M.; ŠIKOLA, T.

RIV year

2017

Released

20.11.2016

Location

Brno

Pages from

1

Pages to

14

Pages count

14

BibTex

@misc{BUT132790,
  author="Petr {Bábor} and Michal {Potoček} and Tomáš {Šikola}",
  title="Příprava vzorků pro testování rozlišení",
  year="2016",
  pages="1--14",
  address="Brno",
  note="Summary research report"
}