Publication detail

Analýza proudění plynu v komoře vzorku EREM simulační metodou

BAYER, R. MAXA, J. VYROUBAL, P.

Original Title

Analýza proudění plynu v komoře vzorku EREM simulační metodou

English Title

Analysis of gas flow in specimen chamber in EREM using simulation

Type

conference paper

Language

Czech

Original Abstract

Použitím environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu je možno studovat mnoho druhů vzorků a jejich fází způsobem, jakým to dříve nebylo možné. V článku jsou srovnány a analyzovány výsledky simulací proudění plynu komorou vzorku při zvolených úrovních tlaku, za účelem dosažení nejvyššího možného tlaku v oblasti vzorku a nejmenšího možného tlaku nad vzorkem na optické ose mikroskopu.

English abstract

Using environmental scanning electron microscope it is possible to study many kinds of specimen and their phases the way that was not possible before. In the article there are compared and analyzed simulation results of gas flow in the specimen chamber for selected pressure levels, to achieve the highest possible pressure in the area of specimen and lowest possible pressure above the specimen on the optical axis of microscope.

Keywords

ANSYS Fluent; Elektronová mikroskopie; Environmentální rastrovací elektronový mikroskop; EREM; Komora vzorku; SolidWorks

Key words in English

ANSYS Fluent; Electron microscopy; Environmental scanning electron microscope; EREM; SolidWorks; Specimen chamber

Authors

BAYER, R.; MAXA, J.; VYROUBAL, P.

RIV year

2015

Released

8. 12. 2015

Publisher

Tribun EU s.r.o.

Location

Plzeň

ISBN

978-80-261-0514-5

Book

Elektrotechnika a informatika 2015

Edition number

1

Pages from

3

Pages to

6

Pages count

262

BibTex

@inproceedings{BUT120163,
  author="Robert {Bayer} and Jiří {Maxa} and Petr {Vyroubal}",
  title="Analýza proudění plynu v komoře vzorku EREM simulační metodou",
  booktitle="Elektrotechnika a informatika 2015",
  year="2015",
  number="1",
  pages="3--6",
  publisher="Tribun EU s.r.o.",
  address="Plzeň",
  isbn="978-80-261-0514-5"
}