Product detail

Precizní fixační stolek pro dispenzní tisk s vysokým rozlišením

BURŠÍK, M. ŘEZNÍČEK, M. JANKOVSKÝ, J.

Product type

funkční vzorek

Abstract

Jedná se o vysoce přesný fixační stolek pro tisk s rozlišením pod 100 um, kdy rovinnost uložení substrátu musí dosahovat chyby pod 10 um. Tento stolek umožňuje vakuovou aretaci vzorku a jeho polohování je zajištěno pomocí 3 dorazových excentrů.

Keywords

přesnost, rovinnost, vakuum, tisk

Create date

14.02.2014

Location

Technická 3058/10, Laboratoř 0.63

Documents